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专业半导体装备制造
产品&服务
主要用于高性能钐钴、钕铁硼等磁性材料、功能材料的精密真空气氛烧结等工艺。
配气及综合控制系统，通过计算机远程终止显示气瓶柜/气瓶架/配比柜等的运行状态及实时数据
致力于设备及工厂生产自动化：半导体分立器件、太阳能电池、功能材料/磁性材料等行业，为客户提供生产自动化（无人）解决方案。
用于2”4”6”SiC或GaN的高温退火、活化等的特殊工艺。
垂直LPCVD系统用于IC集成电路、MEMS、功率器件、纳米器件、光电子器件等领域，12"晶圆的薄膜沉积及参杂等工艺。
垂直氧化LPCVD炉系统用于IC集成电路、MEMS、功率器件、纳米器件、光电子器件等领域，6"、8"晶圆的氧化、合金、退火等工艺。
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