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湿法废气处理机系列

湿法废气处理

产品性能:

◆应用于半导体行业LED、多用于MOCVD、HVPE(GaN工艺)废气处理

◆多级喷淋,使易溶于水或配置溶液反应生成沉积的物质,以达到有毒腐蚀气体的回收,达标气体的安全排放

◆处理能力,科研型:50SLM,生产型:400-1500SLM


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