氧化炉,扩散炉,LPCVD设备厂家LOGO

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华旗科技将不断完善人才、管理、技术,与国内外各界朋友进行合作,交流,建立真诚互利友好的合作联盟,为客户提供更优质的产品,更完善的服务,向着国际化,现代化企业阔步前进。

公司外景图

青岛华旗科技有限公司为专业的半导体工艺设备及 先进材料专用设备研发、制造厂家。

主要产品系列:扩散炉、氧化炉、LPCVD低压化学气相沉积、HVPE晶体生长、真空炉及半导体废气处理等。 致力于为半导体集成电路分立器件、太阳能电池、半导体照明LED及磁性材料厂家提供先进的专用设备, 工艺含盖化合物半导体晶体生长、外延、薄膜淀积(氮化硅、氧化硅、多晶硅等)、氧化扩散退火(含快速退火工艺)合金、真空烧结等工艺。我公司制造的半导体工艺设备覆盖一、二、三、四代半导体材料-硅、砷化镓、氮化镓等等,高性能磁性材料真空设备(钐钴、钕铁硼等),同时承担了国家部分863项目(如半导体白光照明GaN生长的HVPE设备等)。

华旗科技拥有十几年的专业研发制造经验,产品服务广泛应用于行业内的大专院校科研院所、半导体制造、高性能磁性材料制造的企业工厂等。华旗科技拥有精良的科研、设计、制造、服务团队,为中国电子专用设备协会、中国磁性材料与器件协会等多家协会会员单位,承接并出色完成了一系列国家重点项目的专用设备的设计制造。

2008年通过GB/T19001-200(ISO9001:2000)质量管理体系认证。

华旗科技将不断完善、提高,真诚为用户提供更优质高可靠的产品及尽善的服务!

主要产品:太阳能电池片专用设备,太阳能电池片扩散炉,太阳能电池PECVD,氧化扩散炉系列、沉积CVD(LPCVD、PECVD)、外延及晶体生长(HVPE、MOCVD及VB、VGF等)、RTP快速热处理、气瓶柜/特气柜/气源柜、废气处理(SCRUBBER),真空热处理炉(双室气淬、单室、传统管式炉等)、链式炉系列、扩散炉体系列,二次配管等等。

产品的质量标准及技术等级:接近达到超越国际同类先进产品的标准!

华旗科技将不断完善人才、管理、技术,与国内外各界朋友进行合作,交流,建立真诚互利友好的合作联盟,为客户提供更优质的产品,更完善的服务,向着国际化,现代化企业阔步前进。

企业文化

我们的优势

技术体现我们的智慧

· 60余项实用新型专利

· 高新技术企业

· 通过ISO 9001质量管理体系认证

· 30年设备研发经验

· 中国电子专用设备工业协会理事单位

· 承担了国家部分863项目(半导体白光照明GaN生长的HVPE设备等)

精良的科研 · 设计 · 制造 · 服务团队

以客户为天 以员工为地 以质量为本 以创新为魂 严爱相济 内方外圆

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