4008-110044
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专业半导体装备制造30年
产品性能：
◆“热解”+“分解”方式，节能、高效处理太阳能电池PECVD等设备的废气，将SiH4进行高温热解，将NH3直接进 行分解，无需氨水处理，无需燃烧。
◆处理能力，生产型：50SLM，生产型：400/600/1000/1500SLM
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