常见问题

扩散炉操作

时间:2018-10-31 14:27来源:未知

高温扩散炉的外观
扩散炉的四部分:

控制柜 
推舟净化台
电阻加热炉
气源柜 
 
1、控制部分: 
 
       整个控制柜分为五层,计算机控制部分分上层、中上层、中下层及下层四个独立部分,每层控制对应层的推舟、炉温及气路部分,是扩散/氧化系统的控制中心。 
在控制柜的底层,安装有四管控制系统的推舟控制装置、保护电路及电路转接控制板, 前盖板上装有三相电源