特气及废气处理系列

综合控制

    简介:
     
    特气柜(气瓶柜)、气瓶架、配比柜等:半导体制造行业易燃、易爆、腐蚀性、高纯等特气供应配比系统。
     
    配气及综合控制系统,通过计算机远程终止显示气瓶柜/气瓶架/配比柜等的运行状态及实时数据,将各种特种气体精确、安全的、按工艺要求的压力和流量等供应至工艺设备,确保气路系统安全、高效运行。
     
    应用于半导体行业、电子材料、太阳能电池行业、生物工程、医药卫生、仿真等领域。
     
    产品性能:
     
    ◆完善的安全警报装置,具有气体泄漏检测报警(如SiH4、PH3、HCL等泄漏报警)、烟雾、火焰报警
     
    ◆控制方式:“触摸屏+PLC”全自动控制(含手动控制)
     
    ◆气路设计合理完善,工作管路具备自动抽空、回充、压力指示等功能,并带有气瓶称重功能
     
    产品分类
    ◆按瓶数分类:单瓶柜(架)/二瓶柜(架)/三瓶柜(架)/四瓶柜(架)
     
    ◆按气体分类:气瓶柜(易燃/易爆/腐蚀/有毒气体,SiH4、PH3、HCL等)气瓶架(高纯、氩气、氧气等)