特气及废气处理系列

湿法+燃烧废气处理

    产品性能:
     
    ◆LPCVD、PECVD、刻蚀等的废气处理
     
    ◆采用电热/气燃烧方式,内部喷淋水/配液循环,液体成分监测、具有自动补水补液
     
    ◆处理能力,科研型:100SLM,生产型:400/600/1000/1500SLM...