炉体系列

水平炉体

    简介:
     
    全系列氧化/扩散炉、LPCVD等设备的高质量加热炉体,满足4"、6"、8"、12"、晶圆制造工艺,技术领先,专业制造,二十余年的专有技术制造的加热炉体具有更宽的工艺温度范围及更高的恒温区精度、稳定性,以及更长的使用寿命。
     
    产品说明:
     
    ◆2"-8"水平氧化扩散炉、LPCVD、太阳能电池扩散炉配套
     
    ◆高温型~1350°C、普通型~1300°C/±0.35~0.5°C
     
    ◆优质材料,如KANTHAL A-1、APM加热丝等、双层水冷