炉体系列

开合炉体

    简介:
     
    全系列氧化/扩散炉、LPCVD等设备的高质量加热炉体,满足4"、6"、8"、12"、晶圆制造工艺,技术领先,专业制造,二十余年的专有技术制造的加热炉体具有更宽的工艺温度范围及更高的恒温区精度、稳定性,以及更长的使用寿命。
     
    产品说明:
     
    ◆优质加热丝:KANTHAL APM、AF及HRE...
     
    ◆能耗小,升温降温速度快,温度均匀,长寿命...
     
    ◆有效口径:φ100~φ1000mm,定制

    ◆工作温度:200°C~1200°C,多温度区控制